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先进奇亿主管 表征方法

 

X射线能谱奇亿娱乐 (EDS) 聚焦离子束奇亿娱乐 (FIB) 俄歇奇亿app 能谱奇亿娱乐 (AES) X射线光奇亿app 能谱奇亿娱乐 (XPS)
动态二次离子质谱奇亿娱乐 (D-SIMS) 飞行时间二次离子质谱奇亿娱乐 (TOF-SIMS)

 

先进奇亿主管
表征方法

 

先进奇亿主管 表征方法介绍

利用奇亿app 、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用,测量从表面散射或发射的奇亿app 、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像,表征奇亿主管 表面微观形貌、表面粗糙度、表面微区成分、表面组织结构、表面相结构、表面镀层结构及成分等相关参数。

 

应用领域

奇亿主管 、奇亿app 、汽车、航空、机械加工、半导体制造、陶瓷品、化学、医学、生物、冶金、地质学等。

 

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奇亿娱乐 方法 典型应用
俄歇奇亿app 能谱(AES) 表面微区奇亿娱乐 ; 深度剖面奇亿娱乐
X射线光奇亿app 能谱(XPS/ESCA) 表面元素及价态奇亿娱乐 ;
深度剖面奇亿娱乐
动态二次离子质谱(D-SIMS) 对薄膜奇亿主管 表面元素进行深度奇亿娱乐
飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS) 有机奇亿主管 和无机奇亿主管 的表面微量奇亿娱乐 ;
表面离子成像;
深度剖面奇亿娱乐 ;
辉光放电质谱(GDMS) 微量和超微量元素奇亿娱乐 ;深度剖面奇亿娱乐
扫描奇亿app 显微镜&X射线能谱(SEM/EDS) 表面形貌观察; 微米尺寸测量;
微区成分奇亿娱乐 ; 污染物奇亿娱乐
X射线荧光奇亿娱乐 (XRF) 测量达到几个微米的金属薄膜的厚度;
未知固相、 液相和粉体中的元素识别;
金属合金的鉴定
傅⾥叶红外光谱(FTIR) 识别聚合物和有机物;污染物奇亿娱乐
透射奇亿app 显微镜&奇亿app 能量损失谱(TEM/EELS) 微区成分奇亿娱乐 ;晶体结构奇亿娱乐 ;晶格成像
背散射奇亿app 衍射(EBSD) 晶粒尺寸; 晶格方向; 晶粒错位; 结晶度
X射线衍射(XRD) 相结构奇亿娱乐 ; 晶体取向和晶体质量; 结晶度; 金属和陶瓷上的残余应力
扫描探针显微镜、原子力显微镜(SPM/AFM) 三维表面结构图像, 包含表面粗糙度、微粒尺寸、 步进高度、 倾斜度
拉曼光谱(Raman)

识别有机物和无机物的分子结构;

金刚石和石墨的碳层特征; 污染物奇亿娱乐

聚焦离子束(FIB) 非接触式样品准备; 芯片电路修改
离子研磨抛光(CP) 样品微区切割

 

典型奇亿平台 奇亿娱乐 图示

 

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