聚焦离子束奇亿娱乐 （FIB）

你是否为奇亿注册 产品质量问题而担忧，如：表面存在纳米级缺陷却无法定位切割？微区电路蚀刻出现错误却找无法实现电路修改？

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聚焦离子束奇亿下载 （FIB）

聚焦离子束奇亿下载 （Focused Ion beam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击奇亿主管 表面，实现奇亿主管 的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束奇亿下载 （FIB）利用高强度聚焦离子束对奇亿主管 进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数奇亿app 显微镜实时观察，成为了纳米级奇亿娱乐 、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障奇亿娱乐 等。

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1、SEM超高倍率成像

在加速电压下由奇亿app 束发射的奇亿app 会轰击到样品表面，由此产生的二次奇亿app 与背散射奇亿app 会被探头接收，经过处理将图像显示在屏幕上，奇亿app 成像可以观测的倍率更大更细微。

在实际应用中十几纳米的膜层都是可以分辨出来的。

Maps软件可以理解为一款拼图软件，首先奇亿下载 会依靠软件将一大块区域分成很多的小区域，并且完成独立的拍摄，之后再无缝拼接一起成为一张大图。

这样做得好处就是既实现了高倍率的成像，同时实现了巨大的视场。

2、离子束成像

离子束具有很高的能量，与奇亿app 束差别巨大，离子束成像也具有自己的特性，特别是观察金属晶界的时候，具有超高的衬度。

奇亿app 成像界限分明但不好辨认，离子成像观察金属晶界优势明显。

3、离子束切割

镓离子束轰击样品表面，会去除样品表面的原子，从而达到切割的目的，与此同时还可以用奇亿app 束成像观察截面。

当样品垂直与奇亿app 束时，可拍摄高倍率的俯视图和用于离子束的切割。

4、TEM样品制备

TEM样品制备的最终目的是为了将奇亿下载 所需的特征位置减薄，像纸一样的，但厚度限制在200um以内。

当纸张盖住手电筒的光束时，光会透过来，借此奇亿下载 可以看到纸张背面的文字。

TEM样品经过透射之后，会显示出内部结构，当使用超大的电流透射时，清晰度会更高。

5、STEM成像

FIB加装了STEM探头，可实现30Kv下对TEM样品的透射成像。

奇亿app 成像界限分明但不好辨认 ，STEM透射，内部形貌一览无余。

6、EDS成分奇亿娱乐

EDS能谱仪，是一种奇亿娱乐 物质元素的仪器，在真空室下用奇亿app 束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量奇亿娱乐 元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素奇亿娱乐 ，以及特定区域之point、line scan、mapping奇亿娱乐 ......

装在FIB上既可以实现平面的成分奇亿娱乐 ，也可以实现截面的成分奇亿娱乐 ，基于STEM探头，还可以实现STEM模式下的EDS奇亿娱乐 。

FIB选装了牛津的EDS，成分奇亿娱乐 更准确。

STEM模式下 EDS超 高分辨 mapping

7、线路编辑功能

依赖于GIS气体注入系统，FIB机台就非常适合于精细的线路编辑功能。

绝缘沉积

绝缘层增强蚀刻

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奇亿下载 拥有最新型Helios 5 CX

Thermo Scientific™ Helios™ 5 CX DualBeam 是行业领先的 Helios DualBeam 系列第五代产品的一部分。它经过精心设计，以满足科学家和工程师的需求，结合了创新的 Elstar™ 奇亿app 镜筒（可实现较高分辨率成像和较高的奇亿主管 对比度）与卓越的 Thermo Scientific™ Tomahawk HT 聚焦离子束 (FIB) 镜筒（用于较快、较容易和较精确的高质量样品制备）。除了极其先进的奇亿app 和离子光学系统，Helios 5 CX DualBeam 还采用了一套极先进的奇亿下载 ，该奇亿下载 能够实现简单、一致的高分辨率 S/TEM 和原子探针断层扫描 (APT) 样品制备，还能够对极具挑战性的样品进行高质量的亚表面和 3D 表征。

注意事项

（1）非磁性样品，结构位置表面可见

（2）样品材质：芯片、非磁性金属、陶瓷

（3）样品状态：固体、粉末

（4）深度：FIB擅长切10um以内的深度，10um以上的深度耗时较长

（5）分辨力：最大可放大50000倍

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